典型位移传感器分类研究与时栅传感器特点分析

TH7; 对现有广泛使用的主要位移传感器和全新原理的时栅位移传感器,按其测量基准、测量原理、数学模型和刻划媒介等方面的不同进行了科学分类,分析其间的联系与差别、优势与不足、各自适用的场合等技术特征.介绍时栅在测量原理上的先进性,经权威部门——中国测试技术研究院检定:目前圆式、直线式时栅的测量精度分别达到±0.8"、±0.5 μm/m,分辨力分别达到0.1''、0.1 μm.为了使时栅的测量精度向纳米级测量精度迈进,对基于电场和光场原理的纳米时栅进行了分析.另外对时栅的衍生技术-寄生式时栅及其在极端特殊环境下的应用前景进行了简单介绍.