基于Krylov子空间法的MEMS降阶建模与仿真

获得系统的宏模型是MEMS系统级建模与仿真的关键。将Krylov子空间理论与方法应用于MEMS降阶建模，介绍了Krylov子空间的理论基础，针对MEMS中常见的静电一结构耦合系统，建立了有限元动力学方程，运用修正Amoldi算法得到降阶模型。算例表明，经大幅度降阶得到的模型真实地反映了系统地运动状态，大大缩短了求解时间，降低了计算复杂度。