三氯化铁-草酸体系不锈钢化学机械抛光液设计与优化

TG732%TH162%TN27; 为提高柔性显示衬底不锈钢箔片化学机械抛光加工效率,研制一种三氯化铁-草酸型抛光液并用于304不锈钢衬底的化学机械抛光加工过程.设计正交优化试验,确定磨粒粒径、磨料含量、草酸含量和三氯化铁含量对材料去除率和表面粗糙度(Sa)的影响显著性顺序,并重点探究三氯化铁和草酸对材料去除率的影响规律.利用优化后的抛光液精抛304不锈钢,其材料去除率高于560 nm/min,抛光30 min后Sa低于8 nm.相比现有抛光液的材料去除效率(226.56 nm/min),新抛光液的加工效率提升超过1倍....

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	金刚石与磨料磨具工程 2023-08, Vol.43 (4), p.497-503
Hauptverfasser:	王泽宇, 彭亚男, 苏建修, 陈佳鹏
Format:	Artikel
Sprache:	chi
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	TG732%TH162%TN27; 为提高柔性显示衬底不锈钢箔片化学机械抛光加工效率,研制一种三氯化铁-草酸型抛光液并用于304不锈钢衬底的化学机械抛光加工过程.设计正交优化试验,确定磨粒粒径、磨料含量、草酸含量和三氯化铁含量对材料去除率和表面粗糙度(Sa)的影响显著性顺序,并重点探究三氯化铁和草酸对材料去除率的影响规律.利用优化后的抛光液精抛304不锈钢,其材料去除率高于560 nm/min,抛光30 min后Sa低于8 nm.相比现有抛光液的材料去除效率(226.56 nm/min),新抛光液的加工效率提升超过1倍.
ISSN:	1006-852X
DOI:	10.13394/j.cnki.jgszz.2022.0159