高纯度石英玻璃40～110 GHz频段电参数的表征

TN817%TN815; 基于127 μm的高纯度石英(99.9997%)基底设计了共面波导(CPW)、微带环形谐振器(MRR)结构,通过测试得到在40～110 GHz的频率范围内,CPW线的平均插入损耗在0.096～0.176 dB/mm之间.此外,采用MRR方法提取了石英的相对介电常数和损耗角正切值,该石英基底在V波段和W波段的相对介电常数分别介于3.7～3.85和3.85～4之间,损耗角正切值在V波段约为0.004,在W波段介于0.004～0.006之间.通过与其他基底性能对比表明,该高纯度石英具有良好稳定的电性能,其在设计高性能无源和封装结构方面具有一定的潜力....

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	红外与毫米波学报 2023, Vol.42 (4), p.490-496
Hauptverfasser:	朱香宝, 孙旭, 岳海昆, 钱凌轩, 倪磊
Format:	Artikel
Sprache:	chi
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	TN817%TN815; 基于127 μm的高纯度石英(99.9997%)基底设计了共面波导(CPW)、微带环形谐振器(MRR)结构,通过测试得到在40～110 GHz的频率范围内,CPW线的平均插入损耗在0.096～0.176 dB/mm之间.此外,采用MRR方法提取了石英的相对介电常数和损耗角正切值,该石英基底在V波段和W波段的相对介电常数分别介于3.7～3.85和3.85～4之间,损耗角正切值在V波段约为0.004,在W波段介于0.004～0.006之间.通过与其他基底性能对比表明,该高纯度石英具有良好稳定的电性能,其在设计高性能无源和封装结构方面具有一定的潜力.
ISSN:	1001-9014
DOI:	10.11972/j.issn.1001-9014.2023.04.010