128×128短波/中波双色红外焦平面探测器

128×128短波/中波双色红外焦平面探测器

首次在国内报道了128×128面阵短波/中波（SW/MW）双色碲镉汞（HgCdTe）红外焦平面探测器（infraredfocal plane arrays,IRFPAs）的研究成果.基于由采用分子束外延（MBE）和原位掺杂技术生长的p-p-P-N型碲镉汞（Hg1-xCdxTe）多层异质结材料,通过B＋注入、台面腐蚀、台面侧向钝化和爬坡金属化,以及双色探测芯片与读出电路（Readout Integrated Circuit,ROIC）混成互连等工艺,得到了128×128面阵双色焦平面探测器.通过湿化学腐蚀方法的优化,将光敏元尺寸为（50×50）μm^2的双色微台面探测器的占空比提高了一倍.该面阵...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Hong wai yu hao mi bo xue bao 2010, Vol.29 (6), p.415-418
1. Verfasser: 叶振华 尹文婷 黄建 胡伟达 陈路 廖亲君 陈洪雷 林春 胡晓宁 丁瑞军 何力
Format: Artikel
Sprache:chi
Schlagworte:
HgCdTe
双色微台面隔离
峰值探测率
湿化学腐蚀方法
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Beschreibung
Zusammenfassung:首次在国内报道了128×128面阵短波/中波（SW/MW）双色碲镉汞（HgCdTe）红外焦平面探测器（infraredfocal plane arrays,IRFPAs）的研究成果.基于由采用分子束外延（MBE）和原位掺杂技术生长的p-p-P-N型碲镉汞（Hg1-xCdxTe）多层异质结材料,通过B＋注入、台面腐蚀、台面侧向钝化和爬坡金属化,以及双色探测芯片与读出电路（Readout Integrated Circuit,ROIC）混成互连等工艺,得到了128×128面阵双色焦平面探测器.通过湿化学腐蚀方法的优化,将光敏元尺寸为（50×50）μm^2的双色微台面探测器的占空比提高了一倍.该面阵双色红外焦平面探测器具有较好的均匀性和正常的光电特性.在液氮温度下,二个波段的光电二极管截止波长λc分别为2.7μm和4.9μm,对应的峰值探测率Dλ^＊p分别为1.42×10^11cmHz^1/2/W和2.15×10^11cmHz^1/2/W.
ISSN:1001-9014