氧化钒热敏薄膜的制备及其性质的研究

氧化钒热敏薄膜的制备及其性质的研究

TB43; 报道一种制备氧化钒热敏薄膜的新方法.采用离子束溅射V2O5粉末靶淀积和氮氢混合气体热处理相结合的薄膜技术,可制备热敏性能较好的低价氧化钒薄膜VOx(x＜2.5).对不同温度退火后氧化钒薄膜在10～100℃范围内测定了薄层电阻随温度的变化,得到的电阻温度系数(TCR)值为(-1～-4)%K-1.研究结果表明通过这种方法可在较低温度下制备氧化钒薄膜,这种薄膜具有较低的电阻率和较高的TCR 值,可作为非致冷红外微测辐射热计的热敏材料....

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Veröffentlicht in:红外与毫米波学报 2001, Vol.20 (4), p.291-295
Hauptverfasser: 周进, 茹国平, 李炳宗, 梁平治
Format: Artikel
Sprache:chi
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:TB43; 报道一种制备氧化钒热敏薄膜的新方法.采用离子束溅射V2O5粉末靶淀积和氮氢混合气体热处理相结合的薄膜技术,可制备热敏性能较好的低价氧化钒薄膜VOx(x＜2.5).对不同温度退火后氧化钒薄膜在10～100℃范围内测定了薄层电阻随温度的变化,得到的电阻温度系数(TCR)值为(-1～-4)%K-1.研究结果表明通过这种方法可在较低温度下制备氧化钒薄膜,这种薄膜具有较低的电阻率和较高的TCR 值,可作为非致冷红外微测辐射热计的热敏材料.
ISSN:1001-9014
DOI:10.3321/j.issn:1001-9014.2001.04.013