瞄准误差对多通道X射线KB显微镜一致性的影响

瞄准误差对多通道X射线KB显微镜一致性的影响

O434.1; 围绕着八通道Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜在神光?Ⅲ主机上的应用,分析了瞄准误差对该显微镜成像性能和通道间一致性的影响.通过光线追迹,模拟了X射线显微镜的空间分辨率、像点间隔和系统效率随视场和物像距的变化.从中心视场到±200 μm视场,空间分辨率下降约2.9 μm;从中心视场到±150 μm视场,系统效率降低了约60％;物距变化量在±200 μm范围时,像点间隔变化值约为0.67 mm,显微镜系统效率变化约为7％;像距变化量在±20 mm范围时,像点间隔变化值约为0.70 mm.结果表明,视场中心瞄准误差严重影响空间分辨率和效率,但对各通道间的像间隔影响较小....

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:光学仪器 2019, Vol.41 (2), p.66-71
Hauptverfasser: 陈志强, 李亚冉, 忻秋琪, 穆宝忠
Format: Artikel
Sprache:chi
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:O434.1; 围绕着八通道Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜在神光?Ⅲ主机上的应用,分析了瞄准误差对该显微镜成像性能和通道间一致性的影响.通过光线追迹,模拟了X射线显微镜的空间分辨率、像点间隔和系统效率随视场和物像距的变化.从中心视场到±200 μm视场,空间分辨率下降约2.9 μm;从中心视场到±150 μm视场,系统效率降低了约60％;物距变化量在±200 μm范围时,像点间隔变化值约为0.67 mm,显微镜系统效率变化约为7％;像距变化量在±20 mm范围时,像点间隔变化值约为0.70 mm.结果表明,视场中心瞄准误差严重影响空间分辨率和效率,但对各通道间的像间隔影响较小.物距和像距误差对像间隔影响较大,但对空间分辨率和系统效率影响较小.
ISSN:1005-5630
DOI:10.3969/j.issn.1005-5630.2019.02.012