透明台阶的白光干涉测量方法研究

Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量.在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析,找到了误差产生的原因,并通过合理的测量参数的设置,实现了对透明台阶的准确测量,满足了应用需求....

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	光学仪器 2013, Vol.35 (6), p.74-77
1. Verfasser:	耿东锋何英杰苏宏毅
Format:	Artikel
Sprache:	chi
Schlagworte:	垂直扫描干涉透明台阶零光程差
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量.在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析,找到了误差产生的原因,并通过合理的测量参数的设置,实现了对透明台阶的准确测量,满足了应用需求.
ISSN:	1005-5630
DOI:	10.3969/j.issn.1005-5630.2013.06.015