高能离子检测飞行时间质谱仪的研制及其在等离子体诊断中的应用

高能离子检测飞行时间质谱仪的研制及其在等离子体诊断中的应用

研发和改进可用于真空放电等激发方式产生的高能离子诊断的分析仪器对高能等离子体研究具有重要意义.本研究研制了一种用于高能量等离子体诊断的飞行时间质谱仪(Time-of-flight mass spectrometer,TOF-MS),结合铝材料真空放电离子源,实现了H+、H2+、C2+、Al3+、C+、Al2+、O+和Al+离子的定性分析,离子能量涵盖23～150 keV.考察了离子门的脉宽和脉冲的电压值对TOF-MS性能的影响,结果表明,当离子门脉宽为100 ns、加速电压分别为20和50 kV时,离子门最优电压分别为±500 V和±2500 V.加速电压为50 kV时,质量分辨率可达22 F...

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Veröffentlicht in:分析化学 2021, Vol.49 (12), p.1970-1976
Hauptverfasser: 洪义, 余志, 麦泽彬, 黎明, 万翔, 陈磊, 谭国斌, 李磊, 黄正旭
Format: Artikel
Sprache:chi
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:研发和改进可用于真空放电等激发方式产生的高能离子诊断的分析仪器对高能等离子体研究具有重要意义.本研究研制了一种用于高能量等离子体诊断的飞行时间质谱仪(Time-of-flight mass spectrometer,TOF-MS),结合铝材料真空放电离子源,实现了H+、H2+、C2+、Al3+、C+、Al2+、O+和Al+离子的定性分析,离子能量涵盖23～150 keV.考察了离子门的脉宽和脉冲的电压值对TOF-MS性能的影响,结果表明,当离子门脉宽为100 ns、加速电压分别为20和50 kV时,离子门最优电压分别为±500 V和±2500 V.加速电压为50 kV时,质量分辨率可达22 FWHM(Full width at half maxium).进一步通过调节离子门脉冲的延迟时间,考察了离子峰强度随时间的变化趋势.
ISSN:0253-3820
DOI:10.19756/j.issn.0253-3820.210474