基于共面去耦结构的空间三维电场测量方法

为了准确测量空间3维电场，解决作用于电场传感器的电场各分量之间的耦合干扰问题，该文提出一种新型的基于共面去耦结构的空间3维电场探测方法。区别于在空间的X,Y,Z3个方向上进行3维布置传统测量思路，该文提出采用3个不共线的平面分布电场敏感单元，利用电场耦合灵敏度矩阵实现电场3个正交分量的准确解调。采用3个基于微机电系统（MEMS）技术的振动微结构电场敏感单元成功制作出3维电场传感器样机。该文设计出一种可实现任意角度旋转的新的传感器夹具，并构建了3维电场测试标定系统。实验表明，该文研制的3维电场传感器可实现电场3个分量的准确测量，结构简单，消除了3个电场分量之间的耦合干扰，提高了测量精度。