基于MEMS微镜的混合式扫描同步设计

基于MEMS微镜的混合式扫描同步设计

TP273+.5%TN41; 为了解决MEMS微镜扫描角度较小的缺点,设计了一种MEMS微镜与无刷电机同步扫描系统.该系统由STM32微控制器、DDS驱动电路、相位检测电路组成.通过设计光栅码盘实现对无刷电机速度的测量,由PID算法控制电机转速使电机反馈信号与MEMS微镜反馈信号频率相同,并检测两路反馈信号的相位差,调节DDS驱动信号的相位实现相位同步.实验表明,系统工作稳定,相位误差不超过1.5％....

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:电子技术应用 2021, Vol.47 (7), p.92-96
Hauptverfasser: 周珏, 吴东岷
Format: Artikel
Sprache:chi
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:TP273+.5%TN41; 为了解决MEMS微镜扫描角度较小的缺点,设计了一种MEMS微镜与无刷电机同步扫描系统.该系统由STM32微控制器、DDS驱动电路、相位检测电路组成.通过设计光栅码盘实现对无刷电机速度的测量,由PID算法控制电机转速使电机反馈信号与MEMS微镜反馈信号频率相同,并检测两路反馈信号的相位差,调节DDS驱动信号的相位实现相位同步.实验表明,系统工作稳定,相位误差不超过1.5％.
ISSN:0258-7998
DOI:10.16157/j.issn.0258-7998.211300