共掺浓度对Na-Al共掺杂ZnO薄膜微观结构和光电性能的影响

O472; 在石英玻璃衬底上,通过溶胶-凝胶旋涂法制备得到钠铝(Na-Al)共掺氧化锌(ZnO)薄膜(NAZO).研究不同Na-Al共掺杂浓度对ZnO薄膜的结晶性、微观结构、光电性能的影响.结果表明:所有NAZO薄膜样品都沿c轴择优取向生长;适当的Na-Al共掺浓度,可以提高ZnO薄膜结晶性,提高薄膜的载流子迁移率;同时还可以观察到NAZO薄膜表面生长出六角柱状结构晶粒.随着Na-Al元素掺杂浓度的改变,所获薄膜的最高平均光学透过率达到95％.由于元素间固溶比的不同,适当的浓度可以提高Na-Al元素的掺杂效率和薄膜内部的载流子浓度,降低薄膜电阻率,NAZO薄膜最低电阻率为4.7×10-2Ω·c...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	材料工程 2018-06, Vol.46 (6), p.51-56
Hauptverfasser:	陈义川, 胡跃辉, 胡克艳, 张效华, 童帆, 帅伟强, 劳子轩
Format:	Artikel
Sprache:	chi
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	O472; 在石英玻璃衬底上,通过溶胶-凝胶旋涂法制备得到钠铝(Na-Al)共掺氧化锌(ZnO)薄膜(NAZO).研究不同Na-Al共掺杂浓度对ZnO薄膜的结晶性、微观结构、光电性能的影响.结果表明:所有NAZO薄膜样品都沿c轴择优取向生长;适当的Na-Al共掺浓度,可以提高ZnO薄膜结晶性,提高薄膜的载流子迁移率;同时还可以观察到NAZO薄膜表面生长出六角柱状结构晶粒.随着Na-Al元素掺杂浓度的改变,所获薄膜的最高平均光学透过率达到95％.由于元素间固溶比的不同,适当的浓度可以提高Na-Al元素的掺杂效率和薄膜内部的载流子浓度,降低薄膜电阻率,NAZO薄膜最低电阻率为4.7×10-2Ω·cm.
ISSN:	1001-4381
DOI:	10.11868/j.issn.1001-4381.2016.000915