Hochdetektive pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von LiTaO3
Eine in den letzten Jahren entwickelte flexible Herstellungstechnologie für pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von Lithiumtantalat (LiTaO ) ermöglicht es, Sensoren zu entwerfen und zu fertigen, die einen hohen Signal-Rausch-Abstand besitzen und der geplanten Anwendung optimal angepasst s...
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Veröffentlicht in: | Technisches Messen 2010-06, Vol.77 (6), p.333-340 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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creator | Schossig, Marco Norkus, Volkmar Gerlach, Gerald |
description | Eine in den letzten Jahren entwickelte flexible Herstellungstechnologie für pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von Lithiumtantalat (LiTaO
) ermöglicht es, Sensoren zu entwerfen und zu fertigen, die einen hohen Signal-Rausch-Abstand besitzen und der geplanten Anwendung optimal angepasst sind. So wurden ultradünne, freitragende LiTaO
-Schichten mit einer Dicke von weniger als 1 μm hergestellt, mit denen die Sensoren eine spezifische Detektivität
von über
5×10
cm Hz
erreichen.
In recent years, a flexible technology has been developed for the manufacturing of pyroelectric infrared detectors based on lithium tantalate (LiTaO
allowing the fabrication of detectors with very high signal-to-noise ratios and their customization for particular applications. In this way, ultrathin self-supporting LiTaO
layers with film thicknesses of less than 1 μm have been manufactured for high-performance detectors with a maximum specific detectivity
of more than
5×10
cm Hz
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-Schichten mit einer Dicke von weniger als 1 μm hergestellt, mit denen die Sensoren eine spezifische Detektivität
von über
5×10
cm Hz
erreichen.
In recent years, a flexible technology has been developed for the manufacturing of pyroelectric infrared detectors based on lithium tantalate (LiTaO
allowing the fabrication of detectors with very high signal-to-noise ratios and their customization for particular applications. In this way, ultrathin self-supporting LiTaO
layers with film thicknesses of less than 1 μm have been manufactured for high-performance detectors with a maximum specific detectivity
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-Schichten mit einer Dicke von weniger als 1 μm hergestellt, mit denen die Sensoren eine spezifische Detektivität
von über
5×10
cm Hz
erreichen.
In recent years, a flexible technology has been developed for the manufacturing of pyroelectric infrared detectors based on lithium tantalate (LiTaO
allowing the fabrication of detectors with very high signal-to-noise ratios and their customization for particular applications. In this way, ultrathin self-supporting LiTaO
layers with film thicknesses of less than 1 μm have been manufactured for high-performance detectors with a maximum specific detectivity
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