Hochdetektive pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von LiTaO3

Eine in den letzten Jahren entwickelte flexible Herstellungstechnologie für pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von Lithiumtantalat (LiTaO ) ermöglicht es, Sensoren zu entwerfen und zu fertigen, die einen hohen Signal-Rausch-Abstand besitzen und der geplanten Anwendung optimal angepasst s...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Technisches Messen 2010-06, Vol.77 (6), p.333-340
Hauptverfasser: Schossig, Marco, Norkus, Volkmar, Gerlach, Gerald
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
container_end_page 340
container_issue 6
container_start_page 333
container_title Technisches Messen
container_volume 77
creator Schossig, Marco
Norkus, Volkmar
Gerlach, Gerald
description Eine in den letzten Jahren entwickelte flexible Herstellungstechnologie für pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von Lithiumtantalat (LiTaO ) ermöglicht es, Sensoren zu entwerfen und zu fertigen, die einen hohen Signal-Rausch-Abstand besitzen und der geplanten Anwendung optimal angepasst sind. So wurden ultradünne, freitragende LiTaO -Schichten mit einer Dicke von weniger als 1 μm hergestellt, mit denen die Sensoren eine spezifische Detektivität von über 5×10 cm Hz erreichen. In recent years, a flexible technology has been developed for the manufacturing of pyroelectric infrared detectors based on lithium tantalate (LiTaO allowing the fabrication of detectors with very high signal-to-noise ratios and their customization for particular applications. In this way, ultrathin self-supporting LiTaO layers with film thicknesses of less than 1 μm have been manufactured for high-performance detectors with a maximum specific detectivity of more than 5×10 cm Hz W
doi_str_mv 10.1524/teme.2010.0022
format Article
fullrecord <record><control><sourceid>walterdegruyter</sourceid><recordid>TN_cdi_walterdegruyter_journals_10_1524_teme_2010_0022776333</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>10_1524_teme_2010_0022776333</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-walterdegruyter_journals_10_1524_teme_2010_00227763333</originalsourceid><addsrcrecordid>eNqljssKwjAURIMoWB9b1_mBapJqquBK8QWCm-5DsLdarYncpIp_bwr-gbOZGZiBQ8iIszGfienEwwPGgoXKmBAtEgm-kHHKedImEeMpj-dsIbuk59wtLGQi5xHZ7e35moOHuy9fQJ8ftFCFgqU7X4EeTIEarXdgnEUwVNcFzQHpSrvS0Zc19Fhm-pQMSKfQlYPhz_tkud1k63381pUHzOGC9ScEdbM1mrBQnKkGWzXYqsFWDXaayiToz_sXoilSjw</addsrcrecordid><sourcetype>Publisher</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>article</recordtype></control><display><type>article</type><title>Hochdetektive pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von LiTaO3</title><source>De Gruyter journals</source><creator>Schossig, Marco ; Norkus, Volkmar ; Gerlach, Gerald</creator><creatorcontrib>Schossig, Marco ; Norkus, Volkmar ; Gerlach, Gerald</creatorcontrib><description>Eine in den letzten Jahren entwickelte flexible Herstellungstechnologie für pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von Lithiumtantalat (LiTaO ) ermöglicht es, Sensoren zu entwerfen und zu fertigen, die einen hohen Signal-Rausch-Abstand besitzen und der geplanten Anwendung optimal angepasst sind. So wurden ultradünne, freitragende LiTaO -Schichten mit einer Dicke von weniger als 1 μm hergestellt, mit denen die Sensoren eine spezifische Detektivität von über 5×10 cm Hz erreichen. In recent years, a flexible technology has been developed for the manufacturing of pyroelectric infrared detectors based on lithium tantalate (LiTaO allowing the fabrication of detectors with very high signal-to-noise ratios and their customization for particular applications. In this way, ultrathin self-supporting LiTaO layers with film thicknesses of less than 1 μm have been manufactured for high-performance detectors with a maximum specific detectivity of more than 5×10 cm Hz W</description><identifier>ISSN: 0171-8096</identifier><identifier>EISSN: 2196-7113</identifier><identifier>DOI: 10.1524/teme.2010.0022</identifier><language>eng</language><publisher>Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH</publisher><subject>infrared detector ; lithium tantalate ; pyroelectric detector ; single-element detector ; thermal detector</subject><ispartof>Technisches Messen, 2010-06, Vol.77 (6), p.333-340</ispartof><lds50>peer_reviewed</lds50><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktopdf>$$Uhttps://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.2010.0022/pdf$$EPDF$$P50$$Gwalterdegruyter$$H</linktopdf><linktohtml>$$Uhttps://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.2010.0022/html$$EHTML$$P50$$Gwalterdegruyter$$H</linktohtml><link.rule.ids>314,780,784,27924,27925,66754,68538</link.rule.ids></links><search><creatorcontrib>Schossig, Marco</creatorcontrib><creatorcontrib>Norkus, Volkmar</creatorcontrib><creatorcontrib>Gerlach, Gerald</creatorcontrib><title>Hochdetektive pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von LiTaO3</title><title>Technisches Messen</title><description>Eine in den letzten Jahren entwickelte flexible Herstellungstechnologie für pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von Lithiumtantalat (LiTaO ) ermöglicht es, Sensoren zu entwerfen und zu fertigen, die einen hohen Signal-Rausch-Abstand besitzen und der geplanten Anwendung optimal angepasst sind. So wurden ultradünne, freitragende LiTaO -Schichten mit einer Dicke von weniger als 1 μm hergestellt, mit denen die Sensoren eine spezifische Detektivität von über 5×10 cm Hz erreichen. In recent years, a flexible technology has been developed for the manufacturing of pyroelectric infrared detectors based on lithium tantalate (LiTaO allowing the fabrication of detectors with very high signal-to-noise ratios and their customization for particular applications. In this way, ultrathin self-supporting LiTaO layers with film thicknesses of less than 1 μm have been manufactured for high-performance detectors with a maximum specific detectivity of more than 5×10 cm Hz W</description><subject>infrared detector</subject><subject>lithium tantalate</subject><subject>pyroelectric detector</subject><subject>single-element detector</subject><subject>thermal detector</subject><issn>0171-8096</issn><issn>2196-7113</issn><fulltext>true</fulltext><rsrctype>article</rsrctype><creationdate>2010</creationdate><recordtype>article</recordtype><sourceid/><recordid>eNqljssKwjAURIMoWB9b1_mBapJqquBK8QWCm-5DsLdarYncpIp_bwr-gbOZGZiBQ8iIszGfienEwwPGgoXKmBAtEgm-kHHKedImEeMpj-dsIbuk59wtLGQi5xHZ7e35moOHuy9fQJ8ftFCFgqU7X4EeTIEarXdgnEUwVNcFzQHpSrvS0Zc19Fhm-pQMSKfQlYPhz_tkud1k63381pUHzOGC9ScEdbM1mrBQnKkGWzXYqsFWDXaayiToz_sXoilSjw</recordid><startdate>201006</startdate><enddate>201006</enddate><creator>Schossig, Marco</creator><creator>Norkus, Volkmar</creator><creator>Gerlach, Gerald</creator><general>Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH</general><scope/></search><sort><creationdate>201006</creationdate><title>Hochdetektive pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von LiTaO3</title><author>Schossig, Marco ; Norkus, Volkmar ; Gerlach, Gerald</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-walterdegruyter_journals_10_1524_teme_2010_00227763333</frbrgroupid><rsrctype>articles</rsrctype><prefilter>articles</prefilter><language>eng</language><creationdate>2010</creationdate><topic>infrared detector</topic><topic>lithium tantalate</topic><topic>pyroelectric detector</topic><topic>single-element detector</topic><topic>thermal detector</topic><toplevel>peer_reviewed</toplevel><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Schossig, Marco</creatorcontrib><creatorcontrib>Norkus, Volkmar</creatorcontrib><creatorcontrib>Gerlach, Gerald</creatorcontrib><jtitle>Technisches Messen</jtitle></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext</fulltext></delivery><addata><au>Schossig, Marco</au><au>Norkus, Volkmar</au><au>Gerlach, Gerald</au><format>journal</format><genre>article</genre><ristype>JOUR</ristype><atitle>Hochdetektive pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von LiTaO3</atitle><jtitle>Technisches Messen</jtitle><date>2010-06</date><risdate>2010</risdate><volume>77</volume><issue>6</issue><spage>333</spage><epage>340</epage><pages>333-340</pages><issn>0171-8096</issn><eissn>2196-7113</eissn><abstract>Eine in den letzten Jahren entwickelte flexible Herstellungstechnologie für pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von Lithiumtantalat (LiTaO ) ermöglicht es, Sensoren zu entwerfen und zu fertigen, die einen hohen Signal-Rausch-Abstand besitzen und der geplanten Anwendung optimal angepasst sind. So wurden ultradünne, freitragende LiTaO -Schichten mit einer Dicke von weniger als 1 μm hergestellt, mit denen die Sensoren eine spezifische Detektivität von über 5×10 cm Hz erreichen. In recent years, a flexible technology has been developed for the manufacturing of pyroelectric infrared detectors based on lithium tantalate (LiTaO allowing the fabrication of detectors with very high signal-to-noise ratios and their customization for particular applications. In this way, ultrathin self-supporting LiTaO layers with film thicknesses of less than 1 μm have been manufactured for high-performance detectors with a maximum specific detectivity of more than 5×10 cm Hz W</abstract><pub>Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH</pub><doi>10.1524/teme.2010.0022</doi></addata></record>
fulltext fulltext
identifier ISSN: 0171-8096
ispartof Technisches Messen, 2010-06, Vol.77 (6), p.333-340
issn 0171-8096
2196-7113
language eng
recordid cdi_walterdegruyter_journals_10_1524_teme_2010_0022776333
source De Gruyter journals
subjects infrared detector
lithium tantalate
pyroelectric detector
single-element detector
thermal detector
title Hochdetektive pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von LiTaO3
url https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2024-12-27T01%3A26%3A56IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-walterdegruyter&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.genre=article&rft.atitle=Hochdetektive%20pyroelektrische%20Infrarotsensoren%20auf%20der%20Basis%20von%20LiTaO3&rft.jtitle=Technisches%20Messen&rft.au=Schossig,%20Marco&rft.date=2010-06&rft.volume=77&rft.issue=6&rft.spage=333&rft.epage=340&rft.pages=333-340&rft.issn=0171-8096&rft.eissn=2196-7113&rft_id=info:doi/10.1524/teme.2010.0022&rft_dat=%3Cwalterdegruyter%3E10_1524_teme_2010_0022776333%3C/walterdegruyter%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true