Hochdetektive pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von LiTaO3

Eine in den letzten Jahren entwickelte flexible Herstellungstechnologie für pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von Lithiumtantalat (LiTaO ) ermöglicht es, Sensoren zu entwerfen und zu fertigen, die einen hohen Signal-Rausch-Abstand besitzen und der geplanten Anwendung optimal angepasst sind. So wurden ultradünne, freitragende LiTaO -Schichten mit einer Dicke von weniger als 1 μm hergestellt, mit denen die Sensoren eine spezifische Detektivität von über 5×10 cm Hz erreichen. In recent years, a flexible technology has been developed for the manufacturing of pyroelectric infrared detectors based on lithium tantalate (LiTaO allowing the fabrication of detectors with very high signal-to-noise ratios and their customization for particular applications. In this way, ultrathin self-supporting LiTaO layers with film thicknesses of less than 1 μm have been manufactured for high-performance detectors with a maximum specific detectivity of more than 5×10 cm Hz W