Reflektometrische hyperspektrale Dünnschichtmessung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Tremmel, Anton J, Rauscher, Markus S, Murr, Patrik J, Schardt, Michael, Koch, Alexander W
Format:	Buchkapitel
Sprache:	ger
Schlagworte:	Engineering: general Production engineering
Online-Zugang:	Volltext
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