Plasma reactor showerhead face plate having concentric ridge pattern

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Angelov, Ivelin A, Caron, James E, Kalinovshi, Ilia
Format:	Patent
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!