Multilayer microcavity devices and methods

Microcavities and micropores that are microscopic (

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Fritsch, Ingrid, Henry, Charles Sherman, Bowen, Benjamin P, Vandaveer, Walter R, Bratcher, Nicole
Format: Patent
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:Microcavities and micropores that are microscopic (