Catadioptric reduction lens
A catadioptric projection lens configured for imaging a pattern arranged in an object plane ( 2 ) onto an image plane ( 4 ) while creating a single, real, intermediate image ( 3 ) has a catadioptric imaging group ( 5 ) having a concave mirror ( 6 ) and a beam-deflector ( 7 ), and a dioptric imaging...
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| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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