Capacitive slanted-beam three-axis accelerometer, Part 2: Characterisation

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of micromechanics and microengineering 2005, Vol.15, p.1997
Hauptverfasser:	Rödjegård, H, Andersson, G I, Löfgren, M, Rusu, C, Billger, D
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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