Erratum: “The effects of match circuit on the breakdown process of capacitively coupled plasma driven by radio frequency” [J. Appl. Phys. 131, 153301 (2022)]

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 2022-05, Vol.131 (20)
Hauptverfasser:	Wu, Hao, Chen, Zhaoyu, Yu, Shimin, Wang, Qixuan, Li, Xiandi, Jiang, Wei, Zhang, Ya
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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