Novel approach to produce polymerized hydrocarbon coatings using dielectric barrier controlled atmospheric pressure glow discharge plasma
Conventionally, low-pressure (
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Veröffentlicht in: | Review of scientific instruments 2002-09, Vol.73 (9), p.3251-3257 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | Conventionally, low-pressure ( |
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ISSN: | 0034-6748 1089-7623 |
DOI: | 10.1063/1.1499538 |