Processing of GaAs devices: a scientific and manufacturing perspective

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	South African journal of science 1988-08, Vol.84 (8), p.641
1. Verfasser:	Williams, R.E.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	backside process chlorobenzene method frontside process lift-off method lithnography manufacturing perspective optical resits Processing of GaAs devices scientific
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0038-2353