Implementation of a Monolithic Single Proof-Mass Tri-Axis Accelerometer Using CMOS-MEMS Technique

This paper presents a novel single proof-mass tri-axis capacitive type complementary metal oxide semiconductor-microelectromechanical system accelerometer to reduce the footprint of the chip. A serpentine out-of-plane (Z-axis) spring is designed to reduce cross-axis sensitivity. The tri-axis acceler...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on electron devices 2010-07, Vol.57 (7), p.1670-1679
Hauptverfasser: Sun, Chih-Ming, Tsai, Ming-Han, Liu, Yu-Chia, Fang, Weileun
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!