Implementation of a Monolithic Single Proof-Mass Tri-Axis Accelerometer Using CMOS-MEMS Technique
This paper presents a novel single proof-mass tri-axis capacitive type complementary metal oxide semiconductor-microelectromechanical system accelerometer to reduce the footprint of the chip. A serpentine out-of-plane (Z-axis) spring is designed to reduce cross-axis sensitivity. The tri-axis acceler...
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Veröffentlicht in: | IEEE transactions on electron devices 2010-07, Vol.57 (7), p.1670-1679 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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