Thickness and refractive index measurement of a silicon wafer based on an optical comb
We have proposed and demonstrated a novel method that can determine both the geometrical thickness and refractive index of a silicon wafer at the same time using an optical comb. The geometrical thickness and refractive index of a silicon wafer was determined from the optical thickness using phase i...
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | Optics express 2010-08, Vol.18 (17), p.18339-18346 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!