Supercritical Fluids for the Fabrication of Semiconductor Devices: Emerging or Missed Opportunities?

Supercritical Fluids for the Fabrication of Semiconductor Devices: Emerging or Missed Opportunities?

Romang and Watkins discuss using supercritical fluids with regard to objects that are nanostructured.

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Chemical reviews 2010-01, Vol.110 (1), p.459-478
Hauptverfasser: Romang, Alvin H, Watkins, James J
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Fluid dynamics
Nanostructured materials
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:Romang and Watkins discuss using supercritical fluids with regard to objects that are nanostructured.
ISSN:0009-2665
1520-6890
DOI:10.1021/cr900255w