Determination of the optical constants of substrates by angle-of-incidence derivative ellipsometry in the presence of unknown surface overlayers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Optics letters 1993-06, Vol.18 (11), p.918-920
Hauptverfasser:	KONOVA, A, TONOVA, D, ARBOV, S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Optical instruments, equipment and techniques Physics Polarimeters and ellipsometers
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