Dielectric function of sputter-deposited silicon dioxide and silicon nitride films in the thermal infrared
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Veröffentlicht in: | Applied Optics 1985-03, Vol.24 (6), p.745-746 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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