Dielectric function of sputter-deposited silicon dioxide and silicon nitride films in the thermal infrared

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied Optics 1985-03, Vol.24 (6), p.745-746
Hauptverfasser:	ERIKSSON, T. S, JIANG, S, GRANQVIST, C. G
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Exact sciences and technology Infrared and raman spectra and scattering Optical properties and condensed-matter spectroscopy and other interactions of matter with particles and radiation Physics
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