Ultraviolet/ozone cleaning of a soft x-ray grating contaminated by synchrotron radiation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied Optics 1991-04, Vol.30 (10), p.1165-1168
Hauptverfasser:	HARADA, T, YAMAGUCHI, S, ITOU, M, MITANI, S, MAEZAWA, H, MIKUNI, A, OKAMOTO, W, YAMAOKA, H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Fundamental areas of phenomenology (including applications) Optics Other topics in optics Physics
Online-Zugang:	Volltext
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