Determination of alumina film thickness by alpha particle scattering

The scattering of accelerated alpha particles has been used to determine the surface oxide film thickness of anodized aluminium. The measurements were based on determining the difference between the energy of an alpha particle cattered from the surface oxide layer and that from the underlying metal. Films ranging in thickness from 10 to 130 μg cm 2 were analysed non-destructively with a relative standard deviation of 3.5 %. The average time for an analysis was 30 min with an incident beam current of up to about 1 μA. On a utilisé la diffusion des particules alpha accélérées pour déterminer l'épaisseur du film superficiel d'oxyde sur l'aluminium oxydé anodiquement. Les mesures sont basées sur la détermination de la différence entre l'énergie d'une particule alpha diffusée par la couche d'oxyde superficiel et celle d'une particule diffusée par le métal sous-jacent. On a analysé de façon non destructive des films d'épaisseur comprise entre 10 et 130 μg cm 2 avec un écart type relatif de 3,5%. Le temps moyen nécessité par une analyse est de 30min, avec une intensité de faisceau incident allant jusqu'à 1 μA. environ. Die Streuung beschleunigter Alphateilchen wurde benutzt, um die Dicke des Oxydfilms auf der Oberfläche anodisch oxydierten Aluminiums zu bestimmen. Die Messungen beruhten auf der Bestimmung der Differenz der Energie eines Alphateilchens, das einerseits an der oberflächlichen Oxydschicht, andererseits am darunterliegenden Metall gestreut wurde. Filme der Dicke 10–130 μg cm 2 wurden zerstörungsfrei mit einer relativen Standardabweichung von 3,5% analysiert. Die durchschnittliche Zeit für eine Analyse betrug 30 min mit einer Stromstärke des auftreffenden Strahls bis etwa 1 μA.