Materials science. The cutting edge of plasma etching

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Science (American Association for the Advancement of Science) 2008-02, Vol.319 (5866), p.1050-1051
Hauptverfasser:	Lill, Thorsten, Joubert, Olivier
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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