Monitoring thickness deviations in planar multi-layer elastic structures using impedance signatures

In this letter, a low frequency ultrasonic resonance technique that operates in the 20 - 80 - kHz regime is presented that demonstrates detection of thickness changes on the order of ± 10 μ m . This measurement capability is a result of the direct correlation between the electrical impedance of an e...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:The Journal of the Acoustical Society of America 2008-07, Vol.124 (1), p.32-35
1. Verfasser: Fisher, Karl A.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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