A pyrazolate-based metalorganic tantalum precursor that exhibits high thermal stability and its use in the atomic layer deposition of ta(2)o(5)

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of the American Chemical Society 2007-10, Vol.129 (41), p.12370-12371
Hauptverfasser:	Dezelah, 4th, Charles L, Wiedmann, Monika K, Mizohata, Kenichiro, Baird, Ronald J, Niinistö, Lauri, Winter, Charles H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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