Boron Diffusion in Amorphous Germanium

Rapid boron diffusion in amorphous germanium is observed during solid phase epitaxial regrowth. Boron diffusion in amorphous germanium is seen to increase approximately 4 orders of magnitude relative to amorphous silicon. Weak bonding between germanium and boron coupled with a distinct dopant profil...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Edelman, L A, Jones, K S, Elliman, R G, Rubin, L M
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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