Intermediate band mobility in heavily titanium-doped silicon layers
The sheet resistance and the Hall mobility of high-purity Si wafers, in whose surface Ti atoms are implanted and laser annealed reaching concentrations above 10 21 cm −3, are measured in the 90–370 K range. Below 240 K, an unconventional behavior is observed that is well explained on the basis of th...
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Veröffentlicht in: | Solar energy materials and solar cells 2009-09, Vol.93 (9), p.1668-1673 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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