Structural Characterization of DLC Films Deposited by PBII Using ESR

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Hyōmen gijutsu 2008, Vol.59(12), pp.937-937
Hauptverfasser:	WATANABE, Shuichi, HUANG, Birong, MOOLSRADOO, Nutthanun
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Schlagworte:	DLC ESR (Electron Spin Resonance) PBII (Plasma Based Ion Implantation) Unpaired Spin
Online-Zugang:	Volltext
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