Micromachining of Novel SiC on Si Structures for Device and Sensor Applications

In this paper the multifariousness of SiC/Si heterostructures for device and sensor applications will be demonstrated. 3C-SiC based microelectromechanical resonator beams (MEMS) with different geometries actuated by the magnetomotive effect operating under ambient conditions were fabricated. The res...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Materials science forum 2006-01, Vol.527-529, p.1111-1114
Hauptverfasser:	Cimalla, Volker, Rockstuhl, Carsten, Hein, Matthias A., Brueckner, Klemens, Pezoldt, Joerg, Förster, Christian, Ambacher, Oliver, Stubenrauch, M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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