Estimation and correction method for the two-dimensional position errors of a planar XY stage based on motion error measurements

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of machine tools & manufacture 2006-06, Vol.46 (7-8), p.801-810
Hauptverfasser:	HWANG, Jooho, PARKA, Chun-Hong, LEE, Chan-Hong, KIM, Seung-Woo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Industrial metrology. Testing Mechanical engineering. Machine design
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!