Negative Capacitance and Dielectric Constant of Nanocomposite SiAlzOxNy(Si) Films with Semiconductor Nanoparticles

The electrical properties of nanocomposite SiAlzOxNy(Si) films containing Si nanoclusters embedded into amorphous SiAlzOxNy matrix have been studied by measurements of DC current-voltage and AC capacitance-voltage characteristics. Analysis of the results allowed us to conclude the existence of a neg...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nano letters 2024-01, Vol.24 (2), p.617-622
Hauptverfasser:	Evtukh, Anatoliy, Kizjak, Anatoliy, Bratus, Oleh, Antonin, Serhii, Muryi, Yaroslav, Marin, Volodymyr, Ilchenko, Volodymyr
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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