Nano on nano

Nano on nano

Selective epitaxy of quantum dots using self-assembled segregation promises nanoscale resolution at conventional lithography prices.

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE circuits and devices magazine 2003-05, Vol.19 (3), p.26-31
Hauptverfasser: Yeoh, T.S., Liu, C.P., Swint, R.B., Gaur, A., Elarde, V.C., Coleman, J.J.
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Bonding
Capacitive sensors
Circuits
Gallium arsenide
Gallium nitride
Lattices
MOCVD
Self-assembly
Substrates
Tensile strain
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Beschreibung
Zusammenfassung:Selective epitaxy of quantum dots using self-assembled segregation promises nanoscale resolution at conventional lithography prices.
ISSN:8755-3996
1558-1888
DOI:10.1109/MCD.2003.1203175