Characterisation of GaN crystals and epilayers grown from a solution at room pressure
GaN crystals were synthesised in a horizontal reactor system using ammonia as a nitrogen source. In the first part of this project a parameter study was performed to evaluate a suitable growth window, concerning e.g. process temperature, gas flows or partial pressures of the process gases. These fir...
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Veröffentlicht in: | Physica status solidi. C 2005-05, Vol.2 (7), p.2040-2043 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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