Modeling and control of a six degree-of-freedom magnetic/fluidic motion control stage
In this paper we describe a six degree of freedom positioning stage for fine motion control. The stage achieves a 6 /spl sigma/ positioning noise of 0.3 nm at a 1 Hz measuring bandwidth and a controller bandwidth of 5 Hz. Total travel is within a cube of 100 /spl mu/m. The single moving element is i...
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Veröffentlicht in: | IEEE transactions on control systems technology 1996-09, Vol.4 (5), p.553-564 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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