Modeling and control of a six degree-of-freedom magnetic/fluidic motion control stage

In this paper we describe a six degree of freedom positioning stage for fine motion control. The stage achieves a 6 /spl sigma/ positioning noise of 0.3 nm at a 1 Hz measuring bandwidth and a controller bandwidth of 5 Hz. Total travel is within a cube of 100 /spl mu/m. The single moving element is i...

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Veröffentlicht in:IEEE transactions on control systems technology 1996-09, Vol.4 (5), p.553-564
Hauptverfasser: Ludwick, S.L., Trumper, D.L., Holmes, M.L.
Format: Artikel
Sprache:eng
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