IIB-7 elimination of radiation-induced interface states by nitridation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on electron devices 1983-11, Vol.30 (11), p.1574-1575
Hauptverfasser:	Terry, F.L., Aucoin, R.J., Naiman, M.L., Wyatt, P.W., Senturia, S.D.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
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