Low temperature microcrystalline silicon thin film resistors on glass substrates

Doped microcrystalline silicon (μc-Si) thin film resistors have been processed at low temperatures (

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Solid-state electronics 2000-07, Vol.44 (7), p.1163-1168
Hauptverfasser:	Krishnan, Anand T., Bae, Sanghoon, Fonash, Stephen J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	High-density plasma Low-temperature deposition Microcrystalline Si film Thin film resistor
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Doped microcrystalline silicon (μc-Si) thin film resistors have been processed at low temperatures (
ISSN:	0038-1101 1879-2405
DOI:	10.1016/S0038-1101(00)00057-5