Technology towards low power/low voltage and scaling of MOSFETs

Technology towards low power/low voltage and scaling of MOSFETs

This paper describes about technological aspects of low power/low voltage CMOS LSI for high performance operation related with the scaling of MOSFETs.

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Microelectronic engineering 1997-12, Vol.39 (1), p.7-30
Hauptverfasser: Iwai, Hiroshi, Momose, Hisayo Sasaki
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:This paper describes about technological aspects of low power/low voltage CMOS LSI for high performance operation related with the scaling of MOSFETs.
ISSN:0167-9317
1873-5568
DOI:10.1016/S0167-9317(97)00165-2