Formation of Microscopic structures by the CVD of SiH sub 4 on Fe(100)

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Chemical vapor deposition 2002-12, Vol.8 (6), p.259-261
Hauptverfasser:	Rebhan, M, Rohrwerder, M, Stratmann, M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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