Effect of thermal annealing on GaN nucleation layers deposited on (0001)sapphire by metallorganic chemical vapor deposition
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Veröffentlicht in: | Journal of applied physics 1994-01, Vol.75 (10), p.5367-5371 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0021-8979 |