Integration of surface-micromachined polysilicon mirrors and a standard CMOS process

This paper describes the integration of surface micromachining with polysilicon and a standard CMOS process with aluminium gates. A demultiplexer circuit for addressing one micromachined mirror out of a line of eight mirrors is realized as an example. The mirrors are electrostatically deflectable wi...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Sensors and actuators. A. Physical. 1996, Vol.52 (1), p.140-144
Hauptverfasser:	Fischer, M., Nägele, M., Eichner, D., Schöllhorn, C., Strobel, R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Micromirrors Polysilicon Surface micromachining System integration
Online-Zugang:	Volltext
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