High polarization and wake-up free ferroelectric characteristics in ultrathin Hf0.5Zr0.5O2devices by control of oxygen-deficient layer

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Nanotechnology 2022-02, Vol.33 (8)
Hauptverfasser:	Yadav, Manoj, Kashir, Alireza, Oh, Seungyeol, Nikam, Revannath Dnyandeo, Kim, Hyungwoo, Jang, Hojung, Hwang, Hyunsang
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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