Resonant sheath heating in weakly magnetized capacitively coupled plasmas due to electron-cyclotron motion

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. E 2021-10, Vol.104 (4), p.045209-045209, Article 045209
Hauptverfasser:	Zhang, Quan-Zhi, Sun, Jing-Yu, Lu, Wen-Qi, Schulze, Julian, Guo, Yu-Qing, Wang, You-Nian
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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